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博鱼体育电子特气系统阀门箱VMB/阀门盘VMP的简介和硬件、

2021-09-20

电子特气系统阀门箱VMB/阀门盘VMP的简介和硬件、安全功能介绍

一、阀门箱VMBValve Manifold Box/阀门盘VMPValve Manifold Panel)简介

是一种内嵌多支分发管与排气管的箱子。它能让气体从单一来源被分配到多点应用 (典型设计为四点, 操作手册有介绍)。对于每个使用点, 气压可被单独地调控, 从而满足个别应用需求。它还提供循环清洁功能和真空抽气功能, 因此能够在无危险气体泄漏的情况下安全地拆卸 VMB 的每一部份。除此以外, 它也能在不影响其它应用点的气体供应下, 清洗某一气体分发管或者对其进行真空抽气。VMB 被设计且制造成为单一气体使用,不能让两种气体共同使用。专为腐蚀性、毒性等危险性气体供应。VMPValve Manifold Panel)与VMB区别在于它使用的开放式管道分配部件,一般用于惰性气体。

目前因制程越来越先进,所以产生BSGS的系统,而未达到供应的稳定,且可以一台分配到多台VMB,所以在中间都会在增加VDB VDBValve Distributing Box)就是VMB的总管,主管路到FAB内先接VDB,再分到各各VMB内,其中的VDB有些厂叫做FDB(Flow Dispense Box),流量分配盒,一般都是用在流量需求特别大的气体供应上。VDB是进二(有一路做BACKUP)路管道,出多路管道。惰性气体可选用VDPValve Dispense Panel)。



二、阀门箱VMBValve Manifold Box/阀门盘VMP(Valve Manifold Panel)硬件简介:

1. 人机界面:作为人与控制器的控制与沟通界面。

一方面可显示系统目前的状况,同事亦可接受操作人员下达的指令,作为系统运作的确认。

2. PLC:整体控制的处理中心。

3. 电磁阀:控制气动阀的开闭。

(电磁阀为可拨式Type,可依需求强制开启电磁阀)

4. 警急遮断按钮:系统发生异常时按此钮关闭盘面气动阀。

5. LED指示灯:以亮灯表示系统目前的状态。

系统正常:(Normal

存量不足:(Low Quantity

异常报警:(ShutdownOr (Warning)

6. /红外线火焰感知器:当感测到火灾发生时作动,将讯息传至PLC处理。

7. 差压设定开关:当箱体与大气压之差压未达设定值动作,将讯息传至PLC处理。

8. 差压计:显示箱体与大气压之差压。

9. 继电器:依电路设计可作为控制或接点之输出。

10. 电源供应器:因控制回路所使用之电源为DC 24V,故需Power Supply做为转换。

11. 温度开关:当感测到箱体温度高于设定值时,将讯息传至PLC处理。

12. I.A过流量开关:当驱动气动阀之软管松脱或爆裂导致流量过大,将输出讯号告知。